先进材料制备与微纳加工平台

  先进材料制备与微纳加工平台是合肥微尺度物质科学国家研究中心的主要公共支撑平台之一,参照国外同类型先进公共实验室进行设计和建设,已先后投入3500万基建改造费和1亿元设备购置费进行超净室实验场地和装备的建设。


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  平台目前已建成高等级洁净室1200余平方(其中百级洁净室500平方,千级洁净室500平方,10万级表征测试洁净室200平方),洁净室各项主要硬件环境指标达世界一流,国内领先的标准:洁净室内防微振技术指标按照NIST-A标准建设,在振动隔离难度极高的低频振动隔离方面远高于一般半导体厂的VC-DVC-E标准;洁净室内的环境温度控制指标最高可达到小于±0.1/h温度漂移的超高精度要求;实验室供电采用双路供电+UPS+柴油发电机的高可靠性供电;集中供应几十种特殊工艺气体、配备完善的特气侦测和安全系统;集中供应18.2MΩ的超纯水、PCW9N超纯氮气、CDAPVHV等,厂务配套设施全面、先进、标准、完善。


  平台目前已配备各类微纳加工和表征测试设备70余台套,正在运行一条相对完整的微纳米加工工艺线,涵盖了图形发生、薄膜制备、材料刻蚀、键合封装、表征测试等常见的工艺段,可以进行常见微纳米结构和器件的加工,极限线宽达到10纳米,材料种类包括硅基、碳基、金属、聚合物、化合物半导体、二维纳米等多种类型材料,可以有力支撑多学科领域的微纳米器件加工以及微纳米结构的表征测试需求,设备总值超过1亿元,整体设备工艺能力达到国内外先进微纳加工的水平。


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  平台现有专职支撑队伍共25人,技术支撑队伍规模适中,技术精湛,分工合理。依托高水平的专职支撑团队,平台不仅为研究中心了提供强有力的科研支撑,同时也是学校科研的重要支撑力量。平台目前已有正式注册用户1000余人,涵盖学校物理、化学、材料、工程、核科学、信息、生命及地球空间科学等主要学科,支撑着250多个课题组的200余项科研项目。与此同时,平台立足长三角、辐射全国,还为校外180余家高校、科研院所及央企、上市公司等提供了加工、检测和技术咨询服务,有力地支持了兄弟院校的科研及地方经济建设。